程秀蘭博士
博士生導(dǎo)師
研究員(微電子學(xué)與固體電子學(xué))
平臺主任(先進(jìn)電子材料與器件校級平臺)
主要研究方向:
先進(jìn)微納加工技術(shù),薄膜鈮酸鋰光電子器件,基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究,硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究,高階衍射光學(xué)元件設(shè)計與加工,CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)。
曾參與并承擔(dān)863、02專項等多個國家重大科研項目子項目的研究。
同時長期從事本科及研究生專業(yè)課程教學(xué)工作,
所授課程包括:《半導(dǎo)體物理與器件》、《半導(dǎo)體器件原理》、《先進(jìn)微納加工技術(shù)與應(yīng)用》、《集成電路制造技術(shù)》、《半導(dǎo)體集成電路制造理論》、《微電子材料與器件特性的表征》、《微電子可靠性與成品率》等。
先后曾在鐵道部戚墅堰機車車輛工藝研究所、上海貝嶺股份有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司(SMIC)邏輯技術(shù)發(fā)展與制造中心工作,從事技術(shù)研發(fā)工作。
2009-2010年先后至美國University of Arkansas (UARK)及University of California at Berkely (UC Berkeley) 訪問研究,分別從事納米孔DNA/生物大分子檢測、片上集成納米級單生物分子檢測應(yīng)用的表面等離子體波傳感器等方面的研究。
學(xué)術(shù)研究:
1. 先進(jìn)微納加工技術(shù)
2. 薄膜鈮酸鋰光電子器件
3. 基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究
4. 硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究
5. 高階衍射光學(xué)元件設(shè)計與加工
6. CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)
授課教學(xué):
《半導(dǎo)體物理與器件》(48學(xué)時),全日制碩博士,春季學(xué)期
《先進(jìn)微納加工技術(shù)與應(yīng)用》(48學(xué)時),全日制碩博士,春季學(xué)期